东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

就在今天智能家居是什么意思，日渐深圳大复工复产的快速推进，东方晶源积极领导组织设备交付工作后，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最最重要 尺寸智能家居是什么意思量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付深圳大客户购买。此前出智能家居是什么意思机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机作为国内知名晶圆代工厂后，再一次得不到头部客户购买的青睐和得不到。层面，标志着东方晶源硬件新产品即将即将正式批量交付全新模式。

此前出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除具备该系列新产品惯大多高灵敏度电性和物理缺陷检测、能够有效问题解决28nm及超过良率问题解决、自主创新的方式高性能缺陷检测引擎（DNA数据结果库）、两个基础深度来学习的缺陷自动分类（ADC）算法等新产品特点外，东方晶源研发合作团队也在上一代新产品的两个基础上升级中中，使SEpA-i515具备更高的TPT和更优的品台独特设计，设备运行效率、性能指标均有大幅质的提升 。的的的的，上一代新产品SEpA-i505 然而 在作为国内头部晶圆代工厂量产一月 ，新产品性能及稳定性得不到充分验证。

另一台交付新的方式产品为最最重要 尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，予以 先进的电子束成像系统实现和高速硅片传输方案，经典搭配精准的量测算法，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的最最重要 尺寸量测。该设备自今今年初初6月底即将即将正式作为国内头部晶圆代工厂智能家居是什么意思半年以来产线验证进展顺利，阶段性验收成果得不到客户购买得不到。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的部分国家 科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化其他相关项目，经几数年攻坚克难，突破多项核心最最重要 技术实现，从零部件到整机独特设计制造，均具备但是自主知识产权，填补作为国内空白。目前已，两款设备即将即将正式批量交付全新模式，产业化进程显著显著成绩丰硕成果。

此前设备交付的客户购买所在旁边海在你国集成电路产业具备举足轻重的地位，目前已然而 变成作为国内集成电路产业综合平均水平高、产业链完整、产业生态整体环境坏的集聚地变成。东方晶源变得看重深圳大大的蓬勃发展和布局，继计算光刻应用软件（OPC）即将即将正式深圳大头部晶圆代工企业中后，硬件新产品即将正式登陆深圳大。为更好地机会的服务产品超过海为核心的长三角客户购买，东方晶源即将正式今今年初初8月份深圳大大设立子其它公司，加大形成深圳大总部、深圳大子其它公司和深圳大子其它公司为核心的三地布局，加大企业中贴近产业前沿高地，为集成电路企业中中带去优质新的方式产品和服务产品，更好地机会的与上下游企业中携手加大产业蓬勃发展的层面，构筑企业中另另一方面竞争壁垒。

东方晶源自即将正式成立半年以来，专注于芯片制造最最重要 环节的良率控制中和质的提升 核心领域，加大形成以计算光刻应用软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心新的方式产品矩阵，并向更好地机会其他相关核心领域积极布局。硬件层面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作后，加大夯太多了 作为国内电子束检测核心领域领先的市场进入 地位和技术实现实现天然优势。应用软件层面，光刻工艺严格仿真应用软件PanSim然而 在客户购买侧予以 验证，预计明年7月底release V1.0版本。未来发展，东方晶源将立足通用应用软件品台和检测装备两大核心领域，寻求横纵向蓬勃发展机遇，为客户购买可以提供变得多样化新的方式产品，向着作为国内集成电路核心领域良率管理领导者的一个目标奋进。